特種氣體的重要性:正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大,應用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。滅菌特種氣體主要應用于(繃帶、縫線及手術器具)、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產品及貯藏方面的殺菌。特種氣體分類:從應用領域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種,廣泛應用 于電子半導體、化工、環保和高裝備制造等領域。







特種氣體指半導體生產環節中,比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體,也就是氣體類別中的電子氣體,特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一,故又稱為氣體標準物質。特種氣體分類:從應用領域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種,廣泛應用 于電子半導體、化工、環保和高裝備制造等領域。

特種氣體分類:高純氣體通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體,對于不同類別的氣體,純度指標不同,大多用于超大規模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域;我國特種氣體行業在 2006 年后進入快速發展階段,廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環保和新興產業領域,特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類,電子特種氣體(簡稱電子特氣)是特種氣體的 一個重要分支,是超大規模集成電路(IC)、平面顯示器件(LCD、LED、OLED)、太陽能電池等電子工業生產不 可或缺的原材料。
