滅菌特種氣體可殺滅細菌（及其內孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體的儲存注意事項：儲存高壓氣體≥300m，液化氣≥3000kgs時，儲存場所需要經過縣級以上相關單位批準。高壓容器儲存場所出入口及顯眼處，需設有安全警示牌。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業生產不 可或缺的原材料。
我國特種氣體行業在 2006 年后進入快速發展階段，廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環保和新興產業領域，特種氣體種類：廣義的“電子氣體”指可用于電子工業生產中使用的氣體，是重要原材料之一， 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領域生產的特種氣體。特種氣體在集成電路領域的應用：特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導體產業鏈的 上游，被稱為半導體的“源”，主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。
特種氣體從應用領域來看，主要包括電子氣體、標準氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產業的加工制造過程，是下游的行業關鍵性化工基礎材料，被譽為電子產業的“血液”。特種氣體在太陽能電池中的應用：晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體分類：高純氣體通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標不同，大多用于超大規模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域；
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